激光切割与CO 2裂片技术是目前较为先进的加工技术,同样适用于基板行业,但是由于造价过高,目前只限于在微电子行业推广运用。
激光切割技术在玻璃加工行业逐步推广应用,激光切割是利用高功率密度激光束照射被切割材料,使材料很快被加热至汽化温度,蒸发形成孔洞,随着光束对材料的移动,孔洞连续形成宽度很窄的(如0.1 mm左右)切缝,完成对材料的切割。由于切割后,孔洞之间存在粘连,切线处两侧玻璃不能完全分离,需要进一步掰断裂片处理。因此,针对激光切割的新型掰断技术应运而生,其中CO 2裂片技术已经得到市场推广,在蓝宝石、面板行业开始试用。CO 2裂片也是利用激光原理,可以在传统激光切割的基础上,进行边部二次切割,切口宽度窄、精度高、切口表面粗糙度好,断裂后的玻璃边部不需要进行磨边处理。