石英玻璃管内表面的复合光整试验研究

发布日期：2021-06-26 来源：www.shuijing.info 作者：水晶信息网浏览次数：395

石英玻璃管是一种硬、脆材料，具有热膨胀系数小、化学稳定性好、耐高温性好、透光性优良等综合性能，广泛应用于冶金、电光源、轻工、半导体、国防装备化工等领域[1-2]。石英玻璃管质量的优劣对可靠性以及寿命有一定的影响，所以人们对其表面质量提出了很高的技术要求[3]。
马力等人[4]根据石英玻璃管抛光特点，建...

关键词： 石英玻璃管超声磁粒复合研磨超声振动复合抛光响应面法表面粗糙度值表面形貌

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