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微细超声加工研究现状

放大字体  缩小字体 发布日期：2021-05-21  来源：51水晶网  作者：水晶信息网  浏览次数：286
 微结构器件和微机电系统的制造是近年来微细制造领域的研究热点，微机电产品正朝着微型化、精密化、智能化方向发展。随着玻璃、工程陶瓷、硅晶体、石英晶体等硬脆性材料在微结构器件和微机电系统中的应用不断拓宽,硬脆性材料的精密微细加工已经成为微细加工的重要研究方向[1]。
在硬脆材料去除加工领域，机械加工利...
 
关键词： 超声加工 微细 复合加工
 
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