0前言
石英玻璃是由二氧化硅单一成分构成的特种玻璃，具有化学性能稳定、透光性好、耐高温、耐辐射和抗激光损伤能力强等特点[1]，被广泛用于半导体、光通讯、太阳能、航空航天和军事设备等领域光学元器件的制造[2-4]。随着元器件制造水平的不断发展，对石英玻璃的表面/亚表面质量要求也越来越高，但石英玻璃的硬度...
石英玻璃是由二氧化硅单一成分构成的特种玻璃，具有化学性能稳定、透光性好、耐高温、耐辐射和抗激光损伤能力强等特点[1]，被广泛用于半导体、光通讯、太阳能、航空航天和军事设备等领域光学元器件的制造[2-4]。随着元器件制造水平的不断发展，对石英玻璃的表面/亚表面质量要求也越来越高，但石英玻璃的硬度...
