玻璃磨边机改造成氧化铟锡靶材磨边机的研究

发布日期：2021-05-16 来源：www.shuijing.info 作者：水晶信息网浏览次数：230

0引言
氧化铟锡靶材（IndiumTinOxide）即ITO靶材，是一种半导体陶瓷材料，主要用于磁控溅射镀制透明导电ITO薄膜。ITO薄膜主要用于制备显示器（包括液晶显示器、OLED显示器等）、触摸屏、太阳能电池、LED等电子器件中的透明电极。
ITO靶材是由氧化铟和氧化锡按不同的配比混合，高温氧气氛烧结而成。常用的ITO靶材中...

关键词： 磨边机靶材崩角

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