由于石英玻璃具有优异的物理化学属性，被广泛应用于激光核聚变系统、半导体光刻设备、大功率激光器和各类光学设备以及生物、医学、化学检测领域[1-3]，如微流控芯片的基底材料[4]。激光作为一种应用广泛的加工技术，近年来激光技术在石英材料加工领域一直是研究热点，目前，采用高能激光束加工石英玻璃的主要方法...
发布日期：2021-05-11 来源：www.shuijing.info 作者：水晶信息网 浏览次数：207
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