石英玻璃管内表面精密研磨工艺研究（4）

发布日期：2021-05-09 来源：水晶信息网作者：www.shuijing.info 浏览次数：315

4.超声磁粒研磨工艺对石英玻璃管内表面的光整实验研究
石英玻璃主要作为点光源材料的一种，特别在集成电路光刻技术的光源投射和成像系统方面，石英玻璃发挥着不可或缺的作用，在一些先进激光武器的型腔内部也使用了石英玻璃，由于具有莫氏硬度高且有一定的分子方向性，表面微晶粒度小抗压性能较好，具有很好的耐酸...

关键词： 石英玻璃管磁粒研磨辅助磁极超声研磨表面粗糙度

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