超快激光抛光硬脆光学材料工艺数值模拟研究

发布日期：2021-05-07 来源：www.shuijing.info 作者：水晶信息网浏览次数：289

1引言
光学材料，诸如石英玻璃，磷酸二氢钾晶体，蓝宝石晶体等材料，具有良好的光学特性，被广泛应用在航空与航天工业，国防工业，微电子工业等领域中。由于光学系统的可靠工作对光学元件的表面质量提出了极高的要求，并且对光学元件的需求量也进一步扩大，因此各个国家均开展了有关光学材料的表面精密加工的研究...

关键词： 超快激光激光抛光数值研究光学材料

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