引言
玻璃材料因其独特的理化性质（良好的化学稳定性、热力学特性、透光性和生物相容性等）广泛应用于传感器、半导体、生物医学、生物化学、微机电系统、芯片实验室设备、光通信及光存储设备等领域的关键部件制造[1]。但由于其硬脆性的特点，采用常规的机械或化学加工方法在进行刻蚀、制孔、焊接等加工时易产生裂纹破损...
玻璃材料因其独特的理化性质（良好的化学稳定性、热力学特性、透光性和生物相容性等）广泛应用于传感器、半导体、生物医学、生物化学、微机电系统、芯片实验室设备、光通信及光存储设备等领域的关键部件制造[1]。但由于其硬脆性的特点，采用常规的机械或化学加工方法在进行刻蚀、制孔、焊接等加工时易产生裂纹破损...
