玻璃材料激光加工技术的研究进展玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法，可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工，在玻璃材料加工领域展现出巨大潜力。归纳了激光刻蚀、激光打孔、激光焊接及激光制备功能结构4 种典型的激光加工玻璃工艺的基本原理及关键问题，指出了玻璃材料激光加工的最新研究进展、工艺水平及应用现状，其中激光刻蚀包括了激光直写刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀与激光背部湿法刻蚀; 激光打孔包括了远红外CO2 激光打孔、超快激。。。。。。。。 玻璃材料激光加工技术的研究进展 |
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